Rasterelektronenmikroskop, REM in magnetisch geschirmtem RaumRasterelektronenmikroskop
 
Magnetisch geschirmter REM Raum
Räume für REM-Elektronenmikroskope müssen vor magnetischen Störfeldern geschützt werden, wenn äussere Störfelder den Betrieb der Mikroskope beeinträchtigen. Die Lieferanten/Hersteller der Mikroskope definieren deshalb entsprechende Grenzwerte. Neben aktiven Kompensationssystemen können die Störfelder auch mit Raumabschirmungen reduziert werden.
 
Mit Raumabschirmungen können Störfelder wie sie von Bahnanlagen, Strassenbahnen, Hochspannungsleitungen, aber auch durch Gebäude interne Quellen verursacht werden, wirkungsvoll begrenzt eingesetzt.

Beispiel aus der Praxis

Das REM-Labor eines Kunden musste verlegt werden. Die magnetische Feldstärke wurden an mehreren in Frage kommenden Standorten gemessen. Letztendlich musste ein Raum gewählt werden, in dem die magnetische Feldstärke die Störgrenze des REM's überschritten wurde. Der Kunde hat verschiedene Feldreduktionslösungen geprüft und sich für eine passive Abschirmung entschieden. Dies vor allem deshalb, weil die passive Raumabschirmung, einmal montiert, einfach vergessen werden kann. Der neue Standort war von verschiedenen "In House" Störquellen umgeben, wie einem Elektrokabelkanal unter dem Gang vor dem Labor, einer Stromschiene an der Wand und einem Indusktionsofen im rückseitig angrenzenden Produktionsraum.

Grundriss REM Mikroskopieraum EMV Störquellen bei Mikroskopieraum Magnetisch geschirmter Mikroskopieraum Magnetisch geschirmter REM Raum, fertig eingerichtet
Grundriss REM Raum mit Störquellen
Störquellen bei Mikroskopieraum
 Raum fertig geschirmt
 Labor eingerichtet