Noise Free Lab am Binnig und Rohner Nanotechnologiezentrum, Rueschlikon, Schweiz
Noise Free Lab, Binnig und Rohner Nanotechnologiezentrum, Rüschlikon
 
Passive Mu-Metallabschirmung und aktives Magnetfeldkompensationssystem:
Magnetfeldarme Räume bilden die Grundlage für den Betrieb von empfindlichen High Tech Forschungsgeräten. Die Hersteller solcher Forschungsgeräte legen entsprechende Grenzwerte für Magnetfelder fest damit ein störungsfreier Betrieb gewährleistet werden kann. Diese Grenzwerte liegen heute bei <20nT peak-peak, oder bei sogar <5nT peak-peak. Einzelne Hersteller empfehlen sogar bereits < 2nT peak-peak. Damit solche Werte erreicht werden können sind umfassende Feldreduktionsmassnahmen notwendig.
 
Im Binnig und Rohner Nanotechnologiezentrum, Rueschlikon, einem Forschungszentrum mit besinders hohen Raumanforderungen, wurde deshalb eine speziell für dieses Nanotechnologiezentrum entwickelte Kombinationslösungen aus passiver Mu-Metall Abschirmung und aktiver Kompensation entwickelt damit der Einfluss allfälliger Streufelder von Bahn, Elektroanlagen und Fahrzeugen verhindert werden kann.
Anforderungen an die Räume für die elektromagnetische Induktion: BAC = <5nT (bis 2kHz, integriert), BDC = <20nT
Ebeam writer in Systron LabShield® geschirmtem Raum
Ebeam writer, VISTEC in magnetisch geschirmtem Raum
 
Mu-metall abgeschirmte Räume werden dann mit aktiven Kompensationssystemen kombiniert wenn entweder Störfeldstärken, oder wenn tiefstmögliche Werte erreicht werden müssen.
Die Raumabschirmung, basierend auf Nickel Eisen (sogenanntes "Mu-Metall") und ist kombiniert mit Aluminium. Damit werden die äusseren Störfelder im Raum drin stark reduziert und homogenisiert. Die aktive Kompensation reduziert dann das restliche Feld zusätzlich. In der Kombination werden so AC und DC Felder maximal möglich begrenzt.