Raumabschirmungen und Kompensationssysteme für empfindliche Geräte wie Elektronenmikroskope, E-Beam Schreiber etc.

magnetisch geschirmter raumElektronenmikroskop MagnetfeldabschirmungMagnetisch geschirmte Forschungslabore:

Die Forschung beschäftigt sich heute mit mikroskopisch kleinen Teilen, oft sogar mit Abmessungen im Bereich weniger Nanometer. Die dafür verwendeten Geräte reagieren besonders empfindlich auf elektromagnetische Störeinflüsse. Es braucht deshalb entsprechend geschützte Labors in denen solche Störeinflüsse reduziert sind.
Die Felder können mit zwei Techniken reduziert werden: mit magnetischen Abschirmungen oder Kompensationssystemen. Oftmals werden die zwei Techniken auch miteinander kombiniert

Mu-Metall geschirmter Mikroskopie TEM RaumMu-Metall geschirmter Mikroskopie TEM RaumMagnetisch geschirmte TEM-Räume:

Räume für Elektronenmikroskope müssen bezüglich magnetischen Störfeldern höchsten Anforderungen genügen. Die von den Mikroskopherstellern definierten Grenzwerte stellen die Betreiber der Mikroskope vor grosse Herausforderungen. Wer an der Weltspitze der Forschung mit dabei sein will, muss die Grenzwerte einhalten, damit eine einwandfrei Funktionsfähigkeit der Mikroskope garantiert ist. 
 
Mit dem Systron LabShield® - Raumabschirmungssystem können diese stetig wachsenden und hohen Anforderungen erfüllt werden. Dabei wird das Raumabschirmungssystem individuell auf die bestehenden Anforderungen ausgelegt, entworfen und installiert. Mit der Abschirmung werden im langsamen DC-und AC-Frequenzbereich hervorragende Dämpfungswerte erreicht. Die ausgezeichnete Schirmwirkung wird mit dem Einsatz von termisch behandeltem Nickel Eisen, auch als "Mu-Metall oder Permalloy bezeichnet", erreicht. Mit Mu-Metall sind Schirmfaktoren möglich, welche mit Silizium Eisen (Trafoblech, Elektroblech, Dynamoblech) basierten Lösungen unmöglich zu erreichen sind.

Rasterelektronenmikroskop, REM in magnetisch geschirmtem RaumRasterelektronenmikroskop, REM in magnetisch geschirmtem RaumMagnetisch geschirmter REM Raum

Räume für REM-Elektronenmikroskope müssen vor magnetischen Störfeldern geschützt werden, wenn äussere Störfelder den Betrieb der Mikroskope beeinträchtigen. Die Lieferanten/Hersteller der Mikroskope definieren deshalb entsprechende Grenzwerte. Neben aktiven Kompensationssystemen können die Störfelder auch mit Raumabschirmungen reduziert werden.
 
Mit Raumabschirmungen können Störfelder wie sie von Bahnanlagen, Strassenbahnen, Hochspannungsleitungen, aber auch durch Gebäude interne Quellen verursacht werden, wirkungsvoll begrenzt eingesetzt.

nois free lab ibm rueschlikonNoise Free Lab am Binnig und Rohner Nanotechnologiezentrum, Rueschlikon, SchweizPassive Mu-Metallabschirmung und aktives Magnetfeldkompensationssystem:

Magnetfeldarme Räume bilden die Grundlage für den Betrieb von empfindlichen High Tech Forschungsgeräten. Die Hersteller solcher Forschungsgeräte legen entsprechende Grenzwerte für Magnetfelder fest damit ein störungsfreier Betrieb gewährleistet werden kann. Diese Grenzwerte liegen heute bei <20nT peak-peak, oder bei sogar <5nT peak-peak. Einzelne Hersteller empfehlen sogar bereits < 2nT peak-peak. Damit solche Werte erreicht werden können sind umfassende Feldreduktionsmassnahmen notwendig.
 
Im Binnig und Rohner Nanotechnologiezentrum, Rueschlikon, einem Forschungszentrum mit besinders hohen Raumanforderungen, wurde deshalb eine speziell für dieses Nanotechnologiezentrum entwickelte Kombinationslösungen aus passiver Mu-Metall Abschirmung und aktiver Kompensation entwickelt damit der Einfluss allfälliger Streufelder von Bahn, Elektroanlagen und Fahrzeugen verhindert werden kann.
Anforderungen an die Räume für die elektromagnetische Induktion: BAC = <5nT (bis 2kHz, integriert), BDC = <20nT

aktive magnetfeld kompensationAktive Magnetfeld KompensationAktive Magnetfeldkompensationssysteme:

Aktive Magnetfeldkompensationssysteme reduzieren niederfrequente Magnetfelder wie sie durch Fahrzeuge, Aufzüge, Bahn, Elektroanlagen oder andere Störquellen verursacht werden. Mittels eines empfindlichen Sensors werden die Störfelder gemessen und durch Gegenfelder aktiv kompensiert. Es wird auch oftmals als Helmholtzspulensystem bezeichnet.

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