Reinraum AbschirmungMontage der Mumetallabschirmung unter ReinraumbedingungenRaumabschirmung für Lithographie

In einer Fotomasken Produktion müssen Elektronenstrahl-Lithographiegeräte, sogenannte "Electron Beam Writer",  vor magnetischen Gleich- und Wechselfeldern, DC / AC, geschützt werden. Elektronenstrahl-Lithographiegeräte reagieren äusserst empfindlich auf magnetische Felder reagieren. Solche Magnetfelder stören den Schreibprozess der Masken was zu Defekten an der Maske führt. Deshalb ist der entsprechende Schutz vor solchen elektromagnetischen Feldern EMF, unerlässlich.
 
Da der komplette Maskenherstellungsprozess in Reinräumen ISO 14644-1, Class 3 stattfindet, muss auch die Abschirmung entsprechend nach Reinraum-Klasse 3 gefertigt, gereinigt und eingebaut werden. ISO Class 3 definiert z.B. max 35 Partikel in der Grösse 0.5µm (0.5 Mikrometer) pro m3. Mit Systron LabShield®, dem Abschirmsystem basierend auf Mu Metall, können die Anforderung an hohe Schirmwirkung und Reinraumkompatibilität erfüllt werden.

 

Magnetfeldabschirmung FeederFeeder integrierte AbschirmungFeeder integrierte Abschirmung

Während dem sich der Maskenschreiber, das Lithigraphie-Gerät, selber vollständig innerhalb der Abschirmkammer befindet, werden die Maskenrohlinge von aussen über einen Feeder eingebracht werden. Die Feeders sind in die Abschirmung integriert und verschliessen im geladenen Zustand den Lithographieraum magnetisch optimal. Mit dieser integrierten Technik bleibt die maximale Abschirmwirkung erhalten, ohne dass der Zugang zum Maskenschreiber behindert wird. Der geschirmte Raum selber wird nur noch für Wartungszwecke geöffnet und betreten.
 
 
 
Dieses in die Abschirmung intergrierte Feeder Prinzip wurde von Systron EMV GmbH entwickelt und gelangt insbesondere in der Halbleiterfertigung zur Anwendung, wo Anforderungen an hohe Abschirmwirkung, Reinraumqualität und Zugänglichkeit gefordert sind.
Abschirmung UnterkonstruktionUnterkonstruktion Systron LabShield® Installation Magnetfeldabschirmung im ReinraumInstallation Abschirmung im Reinraum Abschirmung ReinraumMagnetisch geschirmter Raum in Reinraumqualität Magnetfeldmessungen im ReinraumMagnetfeldmessungen im Reinraum Magnetisch geschirmter BereichMagnetisch geschirmter Laborraum